Nqus sensors: txoj cai ntawm kev ua haujlwm

2024 Tus sau: Erin Ralphs | [email protected]. Kawg hloov kho: 2024-02-19 16:11

Sensor Vacuummeter - nws kuj yog lub tshuab ua haujlwm siab. Nyob rau hauv tsab xov xwm no peb yuav xav txog lawv hom, lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev ua haujlwm. Muaj ntau hom: compression, mechanical, membrane.

Nws tseem hu ua "lub tshuab nqus tsev" ua lwm txoj hauv kev. Nws yog rau tib neeg lub cuab yeej rau ntsuas qhov siab ntawm lub tshuab nqus tsev thiab cov pa roj, uas, dhau los, nyob rau hauv ib puag ncig lub tshuab nqus tsev. Feem ntau, ib tus tuaj yeem nkag siab los ntawm lub npe.

Leonardo Da Vinci tau tsim lub hauv paus rau cov khoom siv no. Nws tau ua qee yam khoom siv ua haujlwm uas nws muaj peev xwm ntsuas qhov siab hauv cov kav dej. Qhov kev tsim kho no tau nrov heev thiab tsim nyog rau cov xyoo ntawd thaum Da Vinci nyob (1400s).

Nws qhov kev tsim kho tau txhim kho los ntawm Evangelista Torricelli, uas tau thov daim ntawv pov thawj rau cov cuab yeej no. Qhov no tau ua tiav xyoo 1643, ntau tshaj li ib puas xyoo tom qab Da Vinci nws tus kheej tuag. Lub tshuab nqus tsev nqus tau zoo li tus U thiab lub ntsiab tseem ceeb uas nws ua haujlwm yog mercury. Hmoov tsis zoo, vim nws qhov tsawg kawg nkaus hauv lub raj nws tus kheej, nws tsis tuaj yeem txiav txim siab siab dua 9 pA. Txhua yam hloov pauv qhov tshwm sim ntawm lub tshuab nqus tsev digital (nws daim duab tau nthuav tawm hauv qab no hauv cov khoom siv).

Nyob ntsuas ntsuas

Mechanical gauge.

Qhov no yog ib qho khoom siv uas tsis siv cov khoom siv hluav taws xob, thiab nws muaj peev xwm txiav txim siab qib hauv thaj tsam ntawm 0.4 txog 7000 bar. Nws cov txheej txheem ntawm kev ua haujlwm nyob rau hauv qhov tseeb tias muaj qee lub nplhaib, uas nyob rau hauv cov yeeb nkab nrog ib qho oval seem, uas nyob rau hauv lem yog khoov ntawm lub kaum sab xis ntawm 240 degrees.

Nws yog nyob rau hauv qhov zawj thiab nws qhov kawg tsis kho, thiab qhov no tso cai rau lub siab nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm kev ntsuas nws thawb rau hauv lub raj, teem nws nyob rau hauv lem nyob rau hauv tsab ntawv tsa suab. Nws yog txuam nrog ib tug mechanism uas qhia qhov tseeb nyeem twb nyob rau hauv lub teev ntawm lub ntaus ntawv. Feem ntau cov cuab yeej ntsuas siab txog 65 bar, tab sis muaj cov khoom siv rau kev nyeem ntawv siab dua, txog 7100 bar.

Siv lub tshuab nqus tsev nyob rau hauv ib puag ncig nruj dua, nws lub cev tau ntim nrog cov dej tsis muaj dej, uas lubricates lub tshuab thiab yog li tiv thaiv corrosion. Raws li kev tiv thaiv ntawm cov txheej txheem no, txhawm rau tiv thaiv lub raj los ntawm kev tawg, lub ntsuas lub cev yog nruab nrog lub tshuab cua tshuab uas txo cov siab ntau dhau.

Invention of the Bourdon tube

Lub raj yog U-shaped thiab hu ua hydrostatic gauge.

Nws qhia cov txiaj ntsig ntawm lub siab ntawm cov kua uas lub raj no tau kuaj pom. Qhov tsis sib txawv ntawm qhov kawg ntawm ob lub raj no txawv, thiab lub xub ntawm lub cuab yeej qhia qhov txawv ntawm lawv. Niaj hnub no, cov cuab yeej zoo li no tsis tau siv lawm, vim tias qhov ntsuas siab tau hloov pauv thiab lub cuab yeej tau dhau los ua qhov tsis tsim nyog.

Compression gauge.

Qhov nomanometer, tsuas yog siab heev. Txhawm rau nthuav nws lub peev xwm, nws tau tsim nyob rau hauv xws li ib txoj hauv kev uas ua ntej ntsuas nws compresses cov kua hauv lub raj, thiab cov nplai qhia txog qib siab. Hauv lub neej txhua hnub, nws tsuas yog siv los ua cov khoom ntsuas ntsuas.

Deformation gauge, mechanical

Qhov ntsuas siab no feem ntau yog npaj rau kev ntsuas qis qis. Nyob rau hauv lub siab ntawm lub raj, lub caij nplooj ntoos hlav nyob rau hauv nws yog compressed thiab deforms lub chaw ua hauj lwm, thiab nws, nyob rau hauv lem, hloov lub load mus rau lub pointer mechanism, hu ua qhov taw qhia scale.

Nqus diaphragm siab sensor.

Nov yog tus nqi pheej yig tshaj plaws ntawm kev txav mus los. Lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev ua haujlwm: lub tshuab nqus tsev presses ntawm daim nyias nyias, thiab nws nias rau ntawm lub sensor. Cov khoom siv zoo li no ib txwm muaj kev ywj pheej ntawm qhov nruab nrab thiab nyeem ntawv hauv cov roj sib tov.

Thermal mechanisms

Cov ntsuas cua kub ntsuas ntsuas ntsuas tau suav tias yog qhov xav tau tshaj plaws, lawv nyeem cov ntawv hauv nruab nrab thiab qis qis. Nws yog nyob rau hauv cov khoom siv xws li cov ntsuas uas tseem ceeb rau tib neeg raws li qhov zoo thiab tus nqi qis yog ua ke. Lawv tsuas yog siv tau rau kev ntsuas hauv lub tshuab nqus tsev. Lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev ua haujlwm yog raws li hauv qab no: cov tshuaj tiv thaiv ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum mus rau qhov kev hloov ntawm cov pa roj cua kub yeeb nkab nrog kev hloov hauv siab.

Cov cuab yeej sib txawv nyob ntawm seb hom roj nws tus kheej thiab nyeem tsuas yog qee qhov sib xyaw. Qhov kev hloov kho ntau tshaj plaws yog lub tshuab nqus tsev thermocouple, thiab tseem muaj cov khoom siv Pirani thiab convection mechanisms.

Thermocouple device.

ZooQhov ntsuas kub hauv lub tshuab nqus tsev cuam tshuam rau cov cua sov ntawm lub thermocouple hauv lub tshuab, uas ua rau muaj kev hloov pauv ntawm qhov kawg ntawm cov thermocouples. Kev hloov ntawm cov cua sov los ntawm cua sov lub sensor nws tus kheej mus rau nws qhov kawg yog vim lub siab nyob ib ncig ntawm lub thermocouple. Qhov siab dua, nws qhov voltage ntau dua. Xws li lub tshuab nqus tsev vacuum yog cov nyiaj txiag ntau ntawm cov pab pawg ntawm lwm cov zoo sib xws.

YPirani Sensor

Lub tshuab no thiab lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev ua haujlwm zoo ib yam li thermocouple. Nws siv ib txoj kab filament thiab converts thermal zog rau hauv voltage. Lub tshuab Pirani yog qhov tseeb ntau dua li lwm tus, vim yog hluav taws xob hluav taws xob txuas rau hauv lub tshuab.

Convection sensor.

Nws kuj, zoo li cov khoom siv zoo sib xws, siv lub thermocouple. Tab sis cov txheej txheem ntawm cov cuab yeej tshwj xeeb no muaj nws tus kheej txias. Tom qab tag nrho, rooj plaub yog qhwv ib ncig nrog ib tug tshwj xeeb xov, thiab nws yog dav dua li cov analogues. Thiab nws, nyob rau hauv lem, tso cai rau cov roj nyob rau hauv lub sensor circulate kom raug thiab zoo, thiab qhov no tso cai rau tag nrho cov convection ntaus ntawv ua hauj lwm zoo dua tag nrho. Thiab nws kuj tseem muab kev nyeem nrawm dua ntawm qhov ntsuas vim qhov txias txias ntawm lub thermocouple.

YPiezoresistive mechanisms

Daim duab saum toj no hauv cov khoom qhia pom lub tshuab nqus tsev nqus hluav taws xob.

Vim lawv txoj kev ywj pheej los ntawm cov roj zoo thiab cov khoom, lawv muab cov ntawv nyeem raug tshaj plaws. Cov cuab yeej muaj versatility nyob rau hauv ib tug ntau yam ntawm lub siab zaus, vim hais tias lub zog ntawm lub tom kawg yog tiav los ntawm kev ncaj qha kev txiav txim ntawm ib tug piezoresistive sensor. Nws qhov ntsuas ntau yog los ntawm 0.1 hli. Toyota nqus sensor, piv txwv li,ua haujlwm ib yam nkaus.

Ionization raws lub tshuab nqus tsev sensors

Lub hauv paus ntsiab lus ua haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev ntawm tus qauv no tau piav qhia hauv qab no.

Cov roj hauv lub tshuab nqus tsev muaj, qhov tseeb, qee tus lej ntawm ions. Ib qho chaw sib nqus lossis hluav taws xob tawm ua rau lawv nrawm dua. Thiab qhov kev ceev no, ntaus los ntawm lawv, nyob ntawm qhov degree ntawm compression ntawm lub tshuab nqus tsev. Raws li txoj cai no, xws li ionization gauges ua haujlwm.

Nyob ntawm kev hloov kho, ntsuas ntsuas siv ntau txoj hauv kev kom nrawm ions. Cov cuab yeej no feem ntau yog tsim los rau kev ntsuas hauv lub tshuab nqus tsev siab. Txij li thaum lawv nyob ntawm cov roj, thiab txhua cov roj muaj qhov sib txawv, qhov no cuam tshuam qhov ceev ntawm cov ions.

Ib qho khoom siv uas ib txwm muaj cathode txias

Qhov no yog lub ntsuas hluav taws xob tsim hluav taws xob. Nws cov hlau nplaum yog positioned kom lub zog ntawm ions tshwm sim nyob rau hauv lub trajectory ntawm ib tug kauv. Nws yog nws leej twg muab cov khoom no "nyob" ntev dua, thiab yog li ntawd, ua haujlwm tau zoo dua. Vim lub fact tias qhov no cathode heev yog ib txwm txias, nws nyeem ntawm lub teev yog ntau vague, tsis zoo li cov analogues ntawm no ntaus ntawv. Tab sis tib lub sijhawm, qhov kev lees paub ntawm cov cuab yeej no ntev heev, thiab nws tsis feem ntau tawg vim nws qhov chaw ruaj khov uas tsis tuaj yeem tsim kev sib txhuam rau ib leeg.

Producers

Thawj cov chaw tsim khoom ntawm lub tshuab nqus tsev ntsuas tau nthuav tawm hauv kab lus no yog "Meta-Chrome". Qhov no yog lub tuam txhab domestic uas tsim tsis tau tsuas yog cov cuab yeej no, tab sis kuj chromatography cov cuab yeej thiab cov cuab yeej ntsuas. Lub tuam txhab Lavxias no nkag mus rau hauv kev ua lag luam hauv1994, thiab txij li lub sijhawm ntawd nws tau tsim thiab tsim khoom siv rau kev lag luam nqus tsev vacuum. Nws cov khoom tau muab tsis tau tsuas yog nyob rau hauv Russia, tab sis kuj txawv teb chaws. Lub tuam txhab Meta-Chrom ib txwm tsim cov khoom lag luam zoo, ionization thiab thermocouple nqus ntsuas ntsuas yam tsis muaj kev sib yuav thiab kev ua haujlwm tsis muaj kev tawg. Qhov no tau lees paub hauv 90% ntawm cov neeg mob los ntawm cov lus pom zoo los ntawm cov neeg siv khoom thiab cov neeg yuav khoom ntawm cov chaw tsim khoom no.

Lub tuam txhab thib ob tsim lub tshuab nqus tsev vacuum yog MKS Incorporated, ib lub tuam txhab los ntawm Tebchaws Meskas. Lawv nrhiav tau lawv lub tuam txhab muag sensors thiab lwm yam khoom siv ntsuas ua ntej tshaj lawv cov neeg Lavxias teb sab, kom deb li deb rov qab rau xyoo 1962. Tab sis tom qab ntawd lawv tau ua nws superficially. Thiab tag nrho, raws li cov chaw tsim khoom ntawm cov khoom siv, nws tau pib tso nws tus kheej txij li xyoo 1998. MKS ua lub tshuab nqus tsev vacuum rau lawv lub tebchaws, tab sis zoo li peb lub tuam txhab hauv tebchaws, lawv tuaj yeem xa lawv cov khoom mus rau lwm lub tebchaws rau tus nqi thauj me me.

Qhov thib peb cov chaw tsim khoom tshwj xeeb hauv kab lus yog Ulvac Technologies. Nws kuj yog ib qho chaw tsim khoom hauv Asmeskas rau kev tsim khoom ntawm ntau yam ntsuas, xws li lub tshuab nqus tsev ntsuas. Lub tuam txhab no tau tsim nyob rau xyoo 1991. Lawv lub lag luam yeej ib txwm muaj ntau lub tshuab nqus tsev digital thiab lwm yam khoom uas lawv muab ob qho tib si hauv lawv lub tebchaws (Tebchaws Meskas) thiab lwm lub tebchaws hauv ntiaj teb.

Zoo kawg

Lub tshuab nqus tsev ntsuas yog qhov nyuaj heev uas koj yuav tsum kawm paub tswj thiab txiav txim siab kom raug. Kab lus no tau qhia tag nrhohom ntawm cov sensors no, tsuas muaj li ntawm 10 ntawm lawv, qhov no yog ib qho tseem ceeb heev nyob rau hauv lub cev ntawm cov neeg tsav tsheb thiab cov neeg kho tsheb.